ضخامت سنج و چگالی سنج ناحیه ای یکپارچه CDM
اصول اندازه‌گیری
اصول اندازه‌گیری چگالی سطح
روش جذب اشعه ایکس/β
اصول اندازه‌گیری ضخامت
همبستگی و مثلث‌بندی لیزری
ویژگی‌های تست فنی CDM
سناریو ۱: روی سطح الکترود، 2 میلی‌متر ضخامت/کمبود وجود دارد و یک لبه ضخیم‌تر است (خط آبی مطابق شکل زیر). وقتی نقطه پرتو 40 میلی‌متر باشد، تأثیر شکل داده‌های اصلی اندازه‌گیری شده (خط نارنجی مطابق شکل زیر) به طور واضح کمتر به نظر می‌رسد.
سناریو ۲: داده‌های پروفیل ناحیه نازک‌شدگی دینامیکی با عرض داده ۰.۱ میلی‌متر
ویژگی‌های نرم‌افزار
پارامترهای فنی
| نام | شاخص‌ها |
| سرعت اسکن | 0-18 متر در دقیقه |
| فرکانس نمونه‌برداری | چگالی سطح: ۲۰۰ کیلوهرتز؛ ضخامت: ۵۰ کیلوهرتز |
| محدوده اندازه‌گیری چگالی سطح | چگالی سطحی: ۱۰ تا ۱۰۰۰ گرم بر متر مربع؛ ضخامت: ۰ تا ۳۰۰۰ میکرومتر؛ |
| تکرار اندازه‌گیری دقت | چگالی سطح: انتگرال ۱۶s: ±۲σ: ≤±مقدار واقعی * ۰.۲‰ یا ±۰.۰۶ گرم بر متر مربع؛ ±3σ: ≤±مقدار واقعی * 0.25‰ یا +0.08g/m²؛ انتگرال ۴s: ±۲σ: ≤±مقدار واقعی * ۰.۴‰ یا ±۰.۱۲ گرم بر متر مربع؛ ±۳σ: ≤±مقدار واقعی * ۰.۶‰ یا ±۰.۱۸ گرم بر متر مربع؛ضخامت: ناحیه 10 میلی‌متری: ±3σ: ≤±0.3μm؛ ناحیه ۱ میلی‌متری: ±۳σ: ≤±۰.۵μm؛ ناحیه 0.1 میلی‌متر: ±3σ: ≤±0.8μm؛ |
| همبستگی R2 | چگالی سطح >99%؛ ضخامت >98%؛ |
| نقطه لیزر | 25 * 1400 میکرومتر |
| کلاس حفاظت در برابر اشعه | استاندارد ایمنی ملی GB 18871-2002 (معافیت از تشعشعات) |
| عمر مفید مواد رادیواکتیو منبع | اشعه بتا: ۱۰.۷ سال (نیمه عمر Kr85)؛ اشعه ایکس: > ۵ سال |
| زمان پاسخ اندازه‌گیری | چگالی سطح <1ms؛ ضخامت <0.1ms؛ |
| قدرت کلی | <3 کیلو وات |
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید
