گیج اندازهگیری چگالی منطقهای سوپر اشعه ایکس
اصول اندازهگیری
وقتی پرتو به الکترود تابیده میشود، پرتو توسط الکترود جذب، منعکس و پراکنده میشود و در نتیجه شدت پرتو پس از الکترود عبوری نسبت به شدت پرتو فرودی تا حدودی کاهش مییابد و نسبت تضعیف آن با وزن یا چگالی سطحی الکترود به صورت نمایی منفی است.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0 : شدت پرتو اولیه
I: شدت پرتو پس از الکترود فرستنده
λ: ضریب جذب جسم اندازهگیری شده
متر: ضخامت/چگالی سطحی جسم اندازهگیری شده

نکات برجسته تجهیزات

مقایسه حسگر نیمههادی و حسگر لیزری برای اندازهگیری
● اندازهگیری جزئیات طرح کلی و ویژگیها: اندازهگیری چگالی ناحیهای طرح کلی با وضوح مکانی میلیمتری و سرعت و دقت بالا (60 متر بر دقیقه)
● اندازهگیری عرض فوقالعاده: قابل تنظیم برای پوشش با عرض بیش از ۱۶۰۰ میلیمتر.
● اسکن فوق سریع: سرعت اسکن قابل تنظیم از 0-60 متر در دقیقه.
● آشکارساز پرتو نیمهرسانای نوآورانه برای اندازهگیری الکترود: پاسخدهی ۱۰ برابر سریعتر از راهحلهای سنتی.
● موتور خطی با سرعت و دقت بالا: سرعت اسکن در مقایسه با راهحلهای سنتی ۳-۴ برابر افزایش مییابد.
● مدارهای اندازهگیری پرسرعت توسعهیافته توسط خود شرکت: فرکانس نمونهبرداری تا ۲۰۰ کیلوهرتز است که باعث بهبود کارایی و دقت پوشش حلقه بسته میشود.
● محاسبه افت ظرفیت نازک شدن: عرض نقطه میتواند تا ۱ میلیمتر کوچک باشد. این دستگاه میتواند ویژگیهای دقیقی مانند خطوط بیرونی ناحیه نازک شدن لبه و خراشهای روی پوشش الکترود را با دقت اندازهگیری کند.
رابط نرمافزاری
نمایش قابل تنظیم رابط اصلی سیستم اندازهگیری
● تعیین ناحیه نازک شدن
● تعیین ظرفیت
● تعیین خراش

پارامترهای فنی
مورد | پارامتر |
محافظت در برابر اشعه | دوز تابش در فاصله ۱۰۰ میلیمتر از سطح تجهیزات کمتر از ۱ میکروزیمنس بر ساعت است. |
سرعت اسکن | قابل تنظیم 0-60 متر در دقیقه |
فرکانس نمونه | ۲۰۰ کیلوهرتز |
زمان پاسخگویی | <0.1 میلیثانیه |
محدوده اندازهگیری | 10-1000 گرم/㎡ |
عرض نقطه | ۱ میلیمتر، ۳ میلیمتر، ۶ میلیمتر (اختیاری) |
دقت اندازهگیری | P/T≤10%انتگرال در ۱۶ ثانیه:±۲σ:≤±مقدار واقعی × ۰.۲‰ یا ±۰.۰۶g/㎡؛ ±۳σ:≤±مقدار واقعی × ۰.۲۵‰ یا ±۰.۰۸g/㎡؛انتگرال در ۴ ثانیه:±۲σ:≤±مقدار واقعی × ۰.۴‰ یا ±۰.۱۲g/㎡؛ ±۳σ:≤±مقدار واقعی × ۰.۶‰ یا ±۰.۱۸g/㎡؛ |